
مع استمرار التقدم العقد التكنولوجية في أشباه الموصلات إلى 7nm و 5nm وأحجام أصغر ، تواجه تقنية تنظيف سطح الرقاقة تحديات غير مسبوقة . تُظهر عمليات التنظيف الرطبة التقليدية قيودًا متزايدة في إزالة الجزيئات النانوية النانوية والملوثات القابلة للتخلي عن طريق الاستفادة من الخواص الفيزيائية والكيميائية الفريدة للسوائل فوق الحرجة .
ميزات تقنية تنظيف الرقاقة فوق الحرجة
تتمتع شركتنا بتجربة غنية في تقنية ومعدات ثاني أكسيد الكربون فوق الحرجة ، ومعدات تنظيف الرقاقة فوق الحرج المطورة لها الخصائص التالية:
تصميم هيكل أخدود التنظيف السريع للمشبك ، وهيكل قفل الترباس اليدوي مقارنة بسهولة التشغيل ؛
يمكن لتصميم رف التنظيف الداخلي المستقل ، تلبية متطلبات التنظيف لأحجام مختلفة من الرقاقات ؛
تصميم بنية برج الامتزاز المخصص ، يمكن أن يمتص واستعادة العوامل الكيميائية ؛
مواد فولاذية عالية النظيف مخصصة ، لتلبية خصائص متطلبات مواد رقاقة أشباه الموصلات ؛
تصميم مرشح الميزات ، دقة الترشيح العالية ، لتجنب الجزيئات الدقيقة قد تضر بالرقاقة ؛
التحكم التلقائي الكامل .
يمكن لشركتنا أيضًا تخصيص تصميم وإنتاج المعدات وفقًا لخصائص العملاء .
المعلمات الفنية الرئيسية
| لا . |
اسم
|
المعلمة
|
| 1 | القطر الداخلي لخزان التنظيف | 110 مم إلى 400 مم |
| 2 |
مواصفات تنظيف الرقاقة |
4 "، 6" ، 8 "و 12" |
| 3 |
أقصى ضغط عمل |
40mpa |
| 4 |
درجة الحرارة القصوى |
150 درجة |
| 5 |
مادة |
فولاذ نظيف عالي (EP) |
| 6 |
دقة ترشيح ثاني أكسيد الكربون |
لا يقل عن 0.08um |
| 7 |
وضع التحكم |
تلقائي تماما |
| 8 |
عدد الرقاقات المعالجة |
أكبر من 5 |
المكونات الأساسية لمعدات تنظيف الرقاقة فوق الحرج
نظام توريد CO₂
1. خزان تخزين (لـ COS)
2. مضخة الضغط العالي (يضغط على co₂ إلى حالة حرجة)
3. سخان (يحافظ على درجة حرارة حرجة)
01
غرفة التنظيف
1. مقاوم للضغط العالي (50 ميجا باسكال أو أعلى)
2. حامل الرقاقة (يؤمن رقائق في مكانه)
3. فوهات السوائل (يضمن التنظيف الموحد)
02
نظام التحكم في درجة الحرارة
1. التسخين (يحافظ على درجة حرارة فوق الحرج)
2. تبريد (يبرد النظام بعد العملية)
03
نظام الاسترداد
1. فاصل (يفصل co₂ والملوثات)
2. وحدة تنقية (إعادة تدوير CO₂)
04
نظام التحكم
1. ينظم تلقائيًا الضغط ودرجة الحرارة ومعدل التدفق
2. يراقب عملية التنظيف
05
التطبيقات الحالية في تصنيع أشباه الموصلات
حاليًا ، وجدت معدات تنظيف الرقاقة فوق الحرجة تطبيقات أولية في رقائق المنطق المتقدمة وتصنيع الذاكرة . الرائدة في مجال تصنيع أشباه الموصلات العالمية مثل TSMC و Samsung في تبني هذه التكنولوجيا في خطوط الإنتاج ، في المقام الأول لعمليات تنظيف الطبقة المهمة {.}
تمثل تقنية تنظيف الرقاقة فوق الحرجة الاتجاه المستقبلي لعمليات تنظيف تصنيع أشباه الموصلات . أداءها المتفوق في التنظيف والفوائد الاقتصادية والبيئية الهامة يجعلها لا غنى عنها في مواجهة التحديات النانوية التي تواجهها تحديات التنظيف المتقدمة ، وتصبح مُخطئًا في مجال التنظيف المتقدم ، وتصبح مُخطئًا في مجال التنظيف المتقدمة ، وتصبح مميزة للتنظيف ، مما لا يتجه إلى أن يكون هناك عظمة في مجال التنظيف ، مما لا يزال هناك ما يتجهون في مجال التنظيف ، وتجاوزه. مصانع تصنيع أشباه الموصلات مع تقدم التكنولوجيا ويحسن النظام الإيكولوجي الصناعي .
الوسم : معدات تنظيف الرقاقة فوق الحرجة ، الصين ، الشركات المصنعة ، الموردين ، المصنع ، مخصص


